单晶炉能耗分等

发布时间： 1991-08-27 00:00:00 作者：来源：

JB/T 5633-1991单晶炉能耗分等.pdf

本标准规定了单晶炉能耗分等。本标准适用于电子工业企业直拉式和区熔式硅单晶炉。

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