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JB/T5633-1991
中文题名：单晶炉 能耗分等
英文题名：Single-crystal furnace. Grading of energy consumption
基本信息
发布机构：
国家机械工业局
发布日期：1991-08-27
实施日期：1992-07-01
关联能源：
适用范围
JB/T 5633-1991单晶炉 能耗分等.pdf
本标准规定了单晶炉能耗分等。 本标准适用于电子工业企业直拉式和区熔式硅单晶炉。
关联标准
替代标准
引用标准
标准分类号
中国标准分类号：
J01
国际标准分类号：
21.010
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