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半导体器件烧结炉能耗分等

发布时间： 1991-08-27 来源：无

本标准规定了半导体器件烧结炉能耗分等。本标准适用于电子工业企业半导体器件容量大于或等于20kM的烧结炉，单台或炉群

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