半导体器件扩散炉 能耗分等

本标准规定了半导体器件扩散炉（以下简称扩散炉）能耗分等。
本标准适用于电子工业企业半导体器件制造过程中用作各种扩散、氧化、退火和合金工艺以及对其他材料进行特殊处理的扩散炉。